SEV-400手套箱金屬有機(jī)蒸發(fā)鍍膜機(jī)

真空腔室：采用立式方形結(jié)構(gòu)，前門為水平滑開式，位于手套箱體內(nèi)部，前開門便于蒸發(fā)材料和樣片在保護(hù)環(huán)境下裝卸，后開門便于真空室的清理維護(hù)（后門帶鎖緊裝置在充氣條件下保持腔室密閉與大氣環(huán)境隔離），整機(jī)位于手套箱體下面，節(jié)約占地面積；

真空系統(tǒng)：國產(chǎn)分子泵作為主抽泵，真空極限高達(dá)2.0?10-5Pa，另可選進(jìn)口磁懸浮分子泵或是低溫泵作為主抽泵，真空極限高達(dá)3.0?10-6Pa；

真空抽速：大氣～5?10-4Pa≤30min（手套箱環(huán)境中）；

基片臺：最大120mm基片/15～25mmITO/FTO玻璃25片，可定制一體化高精度刻蝕掩膜板，基片臺公轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速0～20r/min可調(diào)，襯底可選擇加熱（室溫～300℃可調(diào)可控）或水冷，基片臺可選升降，源基距最大350mm；

蒸發(fā)源及電源：4～6組歐美技術(shù)金屬或有機(jī)束源爐蒸發(fā)源可選，多元共蒸獲得復(fù)合膜/分蒸獲得多層膜，功能強(qiáng)大，性能穩(wěn)定；真空專業(yè)蒸發(fā)電源，恒流/恒功率控制，電流、功率可以預(yù)先設(shè)置，可實(shí)現(xiàn)一鍵啟動和停止的自動控制功能；

膜厚監(jiān)控儀：采用國產(chǎn)或進(jìn)口膜厚監(jiān)控儀在線監(jiān)測和控制蒸發(fā)速率、膜厚；

控制方式：PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障，實(shí)現(xiàn)一鍵抽停真空。