環境掃描電化學顯微鏡可實現原位納米尺度掃描電化學顯微鏡，動態電化學測量，可測量樣品在電化學環境下的形態以及納米力學、納米電學屬性。技術指標：1.單一掃描器需能同時滿足不小于90微米大范圍掃描和高分辨率成像。要求具備探針掃描的掃描器，掃描過程中樣品為完全靜止狀態。 2.無需更換掃描器，即可實現不低于70條線每秒的掃描速度。 3.樣品臺尺寸不小于200mm；能放置最大樣品高度不低于15mm；樣品臺自動 移動水平方向行程不低于160x150mm。要求樣品臺可真空吸附樣品，并且可360 度旋轉。4.ADC的采樣頻率不低于9MHz，DAC的采樣頻率不低于48MHz。5.提供面內和面外壓電力顯微鏡模式：具備形貌，面外和面外壓電力信號同時實時掃描成像功能，不需要在單條線掃描兩次。可以加載最高電壓范圍≥+/-200V。6.具有峰值力開爾文探針顯微鏡：可以在納米尺度測量樣品表面的表面電勢、接觸電勢差和功函數。包括振幅調制和頻率調制兩種方式，可工作在 輕敲模式和峰值力輕敲模式下，包含高壓模塊可擴展表面電勢成像范圍≥± 100V，電勢成像的空間分辨率≤20nm。7.提供電化學原位納米力學、導電及納米電化學測試模塊：要求在電化學電解液中同時進行電化學電流、導電性和納米力學成像，可以在微觀納米 尺度上將電化學特性、導電性以及力學的特性與形貌進行關聯。8.具有峰值力隧道電流顯微鏡：通過測量探針與樣品之間的超低電流對其電學性質進行成像，可工作在接觸模式和峰值力輕敲模式下，最低測量電 流≤120fA，最高測量電流≥1μA； 可實現對接觸模式會損傷的軟或松散樣品進行電流成像。9.提供掃描電容顯微鏡模塊，可通過測量dC/dV的振幅和相位獲得樣品的摻雜類型和摻雜濃度分布。既可以工作在開環下（固定AC振幅），又可以工作在閉環下（固定dC/dV信號）。10.提供掃描擴散電阻顯微鏡模塊，采用對數放大器，可測量電流范圍10pA至0.1mA。通過測量樣品的擴散電阻率來獲得樣品的載流子濃度分布。 商務條款：1.收到信用證后 210 日內發貨。2.質保期：貨到驗收合格之日起 12 個月。3. 保修期間設備發生故障，儀器供應方應在24小時內對用戶的服務要求做出響應，接到用戶維修通知后2個工作日內必須到客戶現場。