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教育部
- 134 高校采購信息
- 458 科技成果項(xiàng)目
- 2 創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)項(xiàng)目
- 0 高校項(xiàng)目需求
【政府采購意向】快速退火爐系統(tǒng)
招標(biāo)單位：
招標(biāo)年份：
所屬地區(qū)：
招標(biāo)類型：
采購方式：
項(xiàng)目概況：
采購品目：A032103電子工業(yè)專用生產(chǎn)設(shè)備
預(yù)計(jì)采購時(shí)間：2022-11
項(xiàng)目基本情況：
項(xiàng)目名稱：【政府采購意向】快速退火爐系統(tǒng)
預(yù)算金額：220 萬元
采購需求：
快速熱退火系統(tǒng)是一種小型的，能夠快速升溫的加熱設(shè)備，可廣泛應(yīng)用于：接觸退火，注入退火，RTO (快速熱氧化)，RTN (快速熱氮化)，硅平滑，擴(kuò)散，致密化和結(jié)晶化，硒化，硫化等。可避免雜質(zhì)的再擴(kuò)散，減小晶片處理過程中的熱預(yù)算。保證在受熱過程中，晶片表面溫度分布均勻。設(shè)備應(yīng)用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域，用于硅及化合物半導(dǎo)體材料離子注入后的缺陷消除、雜質(zhì)激活、硅化物形成、歐姆接觸退火、以及快速氧化/氮化后的快速熱處理等工藝場(chǎng)合。可適用大范圍類型的基片：硅和化合物半導(dǎo)體晶圓，GaN /藍(lán)寶石和碳化硅晶圓，多晶硅晶圓，玻璃，金屬，高分子聚合物，石墨和碳化硅等。
提交投標(biāo)文件截止時(shí)間、開標(biāo)時(shí)間和地點(diǎn)：
截止時(shí)間：2022-11-30 00:00
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