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一種柔性超疏水超疏油結構制備方法

2021-04-11 00:00:00
云上高博會 http://www.eczace.xyz
關鍵詞: 疏水超疏油
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所屬領域:
先進制造與自動化
項目成果/簡介:

本發明公開了一種柔性超疏水超疏油結構制備方法,該制備方 法包括如下步驟:(1)制作柔性超疏水超疏油結構底層:在基底上旋涂 一層負性光刻膠,不用掩膜進行曝光;(2)在步驟(1)曝光后的負性光刻 膠上旋涂一層負性光刻膠,利用陣列圖形掩膜進行曝光;(3)結構層光 刻膠第二次曝光:采用跟步驟(2)對應的掩模進行套刻曝光;(4)顯影: 將上述步驟中曝光后的結構進行顯影;(5)鍍保護層膜:在步驟(4)中得 到的結構表面形成一層保護膜;(6)剝離:將經過步驟(5)處理后得到的 結構從基底上剝離,得到所述柔性超疏水超疏油結構。按照本發明的 制備方法,工藝簡單,成本低廉,對該柔性超疏水超疏油結構的普及 應用具有極大的促進作用。 

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