本發(fā)明公開了提供的一種用于復(fù)合波片光軸對準的裝夾裝置，該裝置包括電控旋轉(zhuǎn)臺、固定波片卡盤和旋轉(zhuǎn)波片卡盤；波片支架安裝在電控旋轉(zhuǎn)臺，固定波片卡盤與電控旋轉(zhuǎn)臺基座連在一起，旋轉(zhuǎn)波片卡盤與電控旋轉(zhuǎn)臺轉(zhuǎn)盤連在一起，使用時，將安裝有晶片的波片支架安裝在固定波片卡盤和旋轉(zhuǎn)波片卡盤上。本發(fā)明提供的裝夾裝置可以實現(xiàn)在對復(fù)合波片光軸進行高精度對準時，對組成復(fù)合波片的各晶片進行夾持，并保證不同晶片間能產(chǎn)生高精度高分辨率的相對轉(zhuǎn)動。與現(xiàn)有波片夾具相比，本發(fā)明所提供的裝夾裝置不僅能夠?qū)崿F(xiàn)對兩片晶片的夾持和精確定位，而且能夠使兩片晶片間產(chǎn)生高精度高分辨率地相對轉(zhuǎn)動，更適合用于復(fù)合波片光軸的對準過程。