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一種主動式氣浮支承裝置
2021-04-11 00:00:00
云上高博會
http://www.eczace.xyz
關鍵詞：
氣浮支承裝置
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種主動式氣浮支承裝置，包括氣浮支承本體、 氣膜主動調節單元、支承本體檢測單元和驅動控制單元，其中支承本 體檢測裝置測量氣浮支承的狀態，驅動控制系統根據檢測信號生成控 制信號，驅動控制氣膜主動調節裝置產生主動作用，動態調節氣浮支 承表面的氣膜形態，由此動態調整氣浮支承裝置的氣膜間隙壓強分布， 從而提高氣浮支承的動剛度特性。通過本發明，能夠顯著提高氣浮支 承的動剛度特性，并達到穩定氣浮支承的目的；此外，按照本發明的 主動式氣浮支承裝置還具備結構緊湊、便于操控和高精度的特點，因 而尤其適用于對支承動剛度要求高的超精密加工或高速主軸等場合。
項目階段:
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