|
中國(guó)科學(xué)院大學(xué)
搜 索
高等教育領(lǐng)域數(shù)字化綜合服務(wù)平臺(tái)
搜 索
科學(xué)院大學(xué).jpg){kind=logo}
中國(guó)科學(xué)院大學(xué)
中國(guó)科學(xué)院
- 26 高校采購信息
- 188 科技成果項(xiàng)目
- 0 創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)項(xiàng)目
- 0 高校項(xiàng)目需求
新型硅基環(huán)柵納米線MOS?器件
2021-01-12 00:00:00
云上高博會(huì)
http://www.eczace.xyz
關(guān)鍵詞：
MOS器件
所屬領(lǐng)域:
項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:
已有樣品/n在主流硅基FinFET集成工藝基礎(chǔ)上，通過高級(jí)刻蝕技術(shù)形成體硅絕緣硅Fin和
高k金屬柵取代柵工藝中選擇腐蝕SiO2相結(jié)合，最終形成全隔離硅基環(huán)柵納米線MOS
器件的新方法。并在取代柵中絕緣硅Fin釋放之后，采用氧化和氫氣退火兩種工藝
分別將隔離的“多邊形硅Fin”轉(zhuǎn)化成“倒水滴形”和“圓形”兩種納米線結(jié)構(gòu)。
項(xiàng)目階段:
掃碼關(guān)注，查看更多科技成果
取消
確定