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硅光子平臺開發
2021-01-12 00:00:00
云上高博會
http://www.eczace.xyz
關鍵詞：
硅光子
所屬領域:
項目成果/簡介:
已有樣品/n成功開發了系列硅光子流片工藝模塊和初版PDK，其中標準單元庫主要包括單
模波導、Y-分支、光交叉器、耦合光柵等無源器件，而最近有源工藝的成功開發，
將向標準單元庫中添加加熱電極、調制器和Ge 光電探測器等有源器件。
此次有源器件流片的成功，加上先導中心2016年上半年開發成功的硅光子無源
工藝及器件（圖3），使微電子所硅光子平臺已具有為業界提供基于180nm工藝的硅
光子流片服務的能力，成為國內首個基于8英寸CMOS工藝線向用戶
項目階段:
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