一種半導體芯片的外觀檢測裝置

其它領域

本發明公開了一種半導體芯片的外觀檢測裝置，包括吸取機構、U 形反光板、兩個光源、平面反射鏡、鏡頭、相機及調節機構，吸取機構用于吸取待檢測芯片至待檢測位，U 形反光板安裝在吸取機構上，對稱設置在芯片側方，兩光源發出的光一部分照射在 U 形反光板上，對芯片底面和其中的一組對邊側面進行背光照明，一部分對芯片的另一組對邊側面進行背光照明，平面反射鏡為多個，傾斜對稱均勻設置在芯片下方四周，使經平面反射鏡反射后的光線垂直入射到鏡頭前端面，鏡頭安裝在相機上，位于芯片下方，相機安裝在調節機構上，調節機構用于調節所述

未應用