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一種可控大長徑比納米探針的制備裝置與制備方法

2021-01-12 00:00:00
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關(guān)鍵詞: 納米探針
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項目成果/簡介:

本發(fā)明提供一種可控大長徑比納米探針的制備裝置,通過設(shè)置 腐蝕穩(wěn)壓電路、腐蝕電壓切斷電路、探針浸沒判斷電路,與單片機配 合實現(xiàn)對腐蝕過程中的腐蝕電壓、探針浸沒深度、探針提升速度等重 要參數(shù)的精確控制,能夠制備大長徑比、可控長徑比、耐磨損、可回 收、成本低的納米探針。本發(fā)明還提供一種可控大長徑比納米探針的 制備方法,采用探針浸入指定深度后不再停留腐蝕,而是一直不斷提 起探針,從而形成針尖長、針尖曲率半徑平滑變化、長徑比大的新型 納米探針,具有不易磨損、可回收再利用、使用成本低等顯著優(yōu)點, 并通過對腐蝕電

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