微型濕度傳感器

新一代信息技術

自主設計研發，采用獨創的器件結構和特有的感濕介質及其制備技術。

與同類產品相比的優勢:濕滯小;芯片面積小(~3mmx3mm);響應速度快(對30%-70%RH濕度階躍變化的響應時間為~1.0s);100℃以上高溫耐受性好;長期穩定性好(常溫環境中放置1年特性無明顯變化)。

采用常規微電子工藝制作，易于大批量生產。

掌握全套制備工藝和關鍵工藝技術，達到量產水平。

已獲發明專利，具有完全知識產權。

便于與其它部件集成，適合于便攜式、移動式濕度檢測或惡劣環境的濕度檢測，可用于農業、氣象、高溫/有毒環境、狹小/密閉環境的濕度檢測。可利用互聯網、物聯網等應用技術平臺組成檢測網絡，應用潛力巨大。

已用于新能源汽車電池模組的濕度檢測(因電池壽命受濕度的影響大)。

發明專利

ZL201010535361.8、ZL201010272929.1

可以量產

達到國內領先水平

獨立研究

無