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384×288非制冷紅外探測器
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.eczace.xyz
關鍵詞：
紅外探測器
所屬領域:
項目成果/簡介:
本項目瞄準新一代夜視、監控裝備在電力、安全監控等國民經濟領域的急需，主要以解決非制冷紅外探測器中大陣列、小光敏元、高性能瓶頸問題為突破口，提出了低應力、復用橋墩的器件微橋結構，突破了器件總體設計、納米氧化釩敏感材料制備、多層復合微橋結構與工藝、讀出電路設計等關鍵技術，在國內首次研制出陣列規模384×288、像元尺寸35μm×35μm的非制冷紅外焦平面（UIRFP）探測器，該成果與同期國外同類器件比較，主要技術指標達到國際先進水平（部分屬國際領先）；申請發明專利55項（授權15項，申請美國專利3項）；
項目階段:
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