一種多路液體溫度調(diào)節(jié)裝置及其溫度控制方法，屬于液體溫度調(diào)節(jié)裝置及其溫度控制方法，解決現(xiàn)有光刻機(jī)浸沒液溫度調(diào)節(jié)控制裝置只具有一路輸出的溫度控制能力以及不能協(xié)同調(diào)節(jié)遠(yuǎn)端、近端供水溫度的問題。本發(fā)明的溫度調(diào)節(jié)裝置，包括純水供應(yīng)部分、注液部分和控制系統(tǒng)，純水供應(yīng)部分放置于遠(yuǎn)端的純水設(shè)備內(nèi)，注液部分放置于光刻機(jī)內(nèi)部；純水供應(yīng)部分和注液部分之間通過遠(yuǎn)傳管路連接；控制系統(tǒng)分別采集純水溫度傳感器、供水溫度傳感器、第一～第三溫度傳感器的溫度值；并對(duì)第 1～第 3 加熱器的加熱電壓進(jìn)行控制，同時(shí)對(duì)冷卻水流量伺服閥的驅(qū)動(dòng)