一種用于光學測量儀器樣品臺校準的系統及其方法

其它領域

本發明公開了一種用于光學測量儀器樣品臺校準的系統及方法。在橢偏儀直通式的情況下進行光路系統的對準，包括前光路和后光路的對準；在橢偏儀斜入射式粗調樣品臺上的旋鈕，使得檢偏臂光學接收器孔能夠接受到一部分光束；微調樣品臺上的旋鈕，使表示光束的十字光標出現在中心位置；以 l 為步長令系統前部和系統后部在 Z 軸方向上進行掃描，并記錄在每個高度位置時探測器接受到的總光強，繪制出一條光強曲線，系統自動選取光強值最大點處為樣品臺最優相對高度位置。系統主要包括光源，起偏臂，前置四象限探測器，檢偏臂，分光鏡，內置四象

未應用