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一種基于穆勒矩陣的套刻誤差提取方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.eczace.xyz
關鍵詞：
穆勒矩陣
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明屬于半導體制造中的套刻誤差測量領域，具體涉及一種基于穆勒矩陣的納米結構套刻誤差提取方法。本發明采用穆勒矩陣矩陣對角線上的 M13 和 M31 元素，或者 M23 和 M32 元素的線性組合分別直接擬合得到一條直線，利用該擬合直線可直接根據測量穆勒矩陣元素得到套刻誤差。該方法可以實現不同周期下一維套刻結構套刻誤差的快速、準確提取。本發明方法可以實現一維套刻結構的套刻誤差的快速、準確提取。
項目階段:
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