一種微型皮拉尼計

其它領域

一種微型皮拉尼計，屬于微機電系統的真空度測量器件，克服現有微型皮拉尼計體積大、靈敏度不夠高的問題。本發明在硅襯底上具有凹槽，凹槽表面架有隔熱層，隔熱層表面覆蓋絕緣層，絕緣層上濺射有加熱體，加熱體的兩端濺射有金屬電極；所述加熱體為形狀彎曲的鉑或鎳金屬；所述絕緣層材料為氮化硅或二氧化硅；所述隔熱層材料為二氧化硅、氮化硅中的一種或兩種。本發明體積小、重量輕而且性能穩定，加熱體采用金屬鉑，它的線性度好、性能穩定、靈敏度高、有良好的化學穩定性；其制造工藝簡單、成本低、成品率高、可靠性高。適用于各種大小真空封裝

未應用