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一種石墨烯片上可調(diào)電感及其制造方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.eczace.xyz
關(guān)鍵詞：
石墨烯片
所屬領(lǐng)域:
項目成果/簡介:
本發(fā)明公開了一種石墨烯片上可調(diào)電感及其制造方法，包括石墨烯線圈層、絕緣介質(zhì)層、電極控制
層、以及襯底，石墨烯線圈層為片上電感的主體部分，設(shè)于襯底上方；絕緣介質(zhì)層覆蓋在石墨烯線圈層
上；電極控制層位于絕緣介質(zhì)層上并處于石墨烯線圈正上方；通過電極控制層在石墨烯線圈上施加可變
柵壓，石墨烯線圈層的電感值隨之發(fā)生改變；首先在催化膜上生長出層狀石墨烯；然后將層狀石墨烯轉(zhuǎn)
移至襯底上；將石墨烯膜圖形化成石墨烯電感線圈；在石墨烯電感線圈上淀積一層的絕緣介質(zhì)層
項目階段:
知識產(chǎn)權(quán)編號:
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