同腔原位復合沉積銥－氧化鋁高溫涂層設備與工藝

化學化工

同腔原位復合沉積銥?氧化鋁高溫涂層設備與工藝，涉及化學氣相沉積技術領域。設備包括反應腔體系統(tǒng)、四條管路系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和尾氣處理系統(tǒng)，系統(tǒng)之間通過管路密封連接。四種前驅體源置于源瓶中，源瓶與四條管路分別相連。通過四個氣動閥調(diào)控前驅體源的通入，Ｎ２作為源的載氣，真空泵系統(tǒng)為設備提供一定真空度，尾氣處理處理系統(tǒng)對反應后產(chǎn)物進行處理后排放；通入Ａｌ（ＣＨ３）３、Ｈ２Ｏ源，ＡＬＤ沉積復合材料的Ａｌ２Ｏ３層，通入Ｉｒ金屬化合物、Ｏ２源，ＡＬＤ沉積復合材料的Ｉｒ層，將Ｉｒ化合物源通入反應腔內(nèi)高溫分解，ＣＶＤ沉積Ｉｒ層。按照復合涂層工藝方案沉積，得到耐高溫抗氧化、高粘附力、抗熱震的Ｒｅ基Ｉｒ?Ａｌ２Ｏ３復合涂層材料。在航空航天、能源動力以及國防等領域具有廣泛的應用。

小批量或小范圍應用