微波誘導等離子體離子遷移譜儀

高端裝備制造

本實用新型公開一種微波誘導等離子體離子遷移譜儀，包括離子源、進樣管、漂移管、氣路系統、信號放大采集與數據處理系統，離子源為微波誘導等離子體離子源，微波誘導等離子體離子源包括微波功率發生器、微波耦合腔和放電管，微波功率發生器連接微波耦合腔，微波耦合腔連接放電管，放電管前方設有加速電極，進樣管連接漂移管，放電管連接漂移管，氣路系統、信號放大采集與數據處理系統均連接漂移管。本實用新型能夠提高離子遷移譜儀的靈敏度，拓寬離子遷移譜的應用范圍，提高離子遷移譜的穩定性及使用壽命，有效地避免樣品離子碎片的生成。

應用于測試分析儀器領域