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半導體輔材用多晶硅中碳、氮雜質的分離去除技術
伴隨著我國半導體行業的迅速崛起，硅電極作為光刻設備上承載硅基圓的重要輔材，其需求日趨增加。同時，基圓尺寸的不斷增加使得硅電極逐漸由單晶硅電極轉變為多晶硅電極，然而多晶硅制備過程中不可避免存在C、N雜質的污染，導致其基體中存在大量彌散分布的SiC、Si3N4硬質顆粒夾雜，嚴重影響了多晶硅電極的使用性能。
傳統制備技術下，設備熱場結構單一，熔體流動性差，導致SiC、Si3N4雜質循環溶解—析出，難以有效分離。本項目團隊前期利用電子束精煉技術去除硅中的蒸發性雜質（P、 O、N）；利用電子束誘導實現多晶硅的定向凝固，進而分離硅中的金屬雜質；基于電子束冷床效應分離硅中的SiC、Si3N4硬質顆粒，并揭示硬質顆粒與硅基體間的位相關系；基于上述研究開發出了多晶硅電極的制備工藝，可應用于刻蝕等半導體制造等領域。
本項目預期可以為半導體行業中硅電極生產制造企業提供穩定的技術支持，具有很好的生產示范性，實現高新技術產業化。該技術能夠有效地降低生產過程中的能耗，是一種低成本、環境友好的生產方法，屬于節能、環保的綠色制造技術。該技術的大規模應用和推廣，可大幅增加就業崗位，提高企業的市場競爭力，保護環境。
大連理工大學
2021-05-10
牙體硬組織原位修復和遞送活性物質用高分子材料
本項目從仿生模擬蛋白質促進牙本質及牙釉質再礦化的角度出發，合成表征一系列具有不同代數及改性基團的PAMAM型樹枝狀高分子，考察其對牙本質及牙釉質再礦化過程中晶核形成、礦物質沉降和富集的促進作用及其作用機理，包括相關的細胞、動物實驗研究。主要研究成果如下：1. 成功合成了磷酸和羧酸改性的聚酰胺-胺樹枝狀高分子（PAMAM-PO3H2和PAMAM-COOH）。通過體外和體內實驗研究發現，這兩種改性的PAMAM都能誘導牙本質和牙釉質礦化，修復受損牙體硬組織。2.成功合成了阿倫磷酸（ALN）改性的羧酸化聚酰胺-胺樹枝狀高分子ALN-PAMAM-COOH，并通過體外模擬實驗及動物實驗發現ALN-PAMAM-COOH具有1. 原位誘導牙釉質再礦化的功能，并對HA有強特異吸附和誘導再礦化的功能，且誘導礦化四周后的牙釉質表面硬度可恢復至95.5%，涂層附著力強。 在進一步研究中發現，羧酸改性的四代聚酰胺-胺樹枝狀大分子能同時實現藥物緩釋和誘導受損牙本質礦化的功能，利用樹枝狀高分子本身可載藥的特點將三氯生載入PAMAM-COOH，制備的復合體系可以吸附在牙本質表面。可實現三氯生的緩慢釋放并能同時誘導牙本質礦化，因此該材料同時具有負載活性物質（如抗菌藥物）和修復受損牙齒的功能。 主要技術指標：1. 本項目制備的磷酸或羧酸改性的樹枝狀高分子具有原位誘導牙本質及牙釉質礦化（硬度修復95%以上）的功能，且能夠用于三氯生等牙齒常用藥物的緩釋，因此既可作為牙齒修復添加劑也可作為牙齒護理添加劑，并同時可用于負載其它活性物質。 本項目用來修復受損牙本質和牙釉質的樹枝狀高分子具有良好的生物相容性，且在口腔環境中沒有生物毒性，因此可用作制備牙齒護理和修護產品的添加劑。 應用范圍： 牙科護理產品、牙科用醫療器械。項目目前已進入小批量生產階段，成果權屬為我校獨自擁有。
四川大學
2021-04-11
硅晶片線切割用6HSiC微粉材料的研究及產業化
關鍵工序生產的自動化 ① 粉碎（雷蒙磨）自動控制系統的研發 研制可對粉碎車間雷蒙磨振動下料、粉碎、氣流粗分工況進行實時監測、自動優化控制的自動監控系統。將雷蒙磨因堵塞停機造成的故障次數比現階段減少75%，且提高工效15%以上。 ② 氣流分級自動控制系統的研發 研制氣流分級機用自動控制系統，具備以下功能：可根據分級輪主機負載實時自動調節喂料速度、根據所設定的風壓值自動調整變頻器運行、根據生產工藝要求自動向企業綜合信息平臺實時發送生產工況參數。 ③ 提純工序實時檢測與信息管理系統的研發 開發可對提純缸、脫水機、烘干爐等主要設備工況進行實時監控的智能化監控儀設備。 ④ 水力分級自動控制系統的研發 研發水力分級設備用自動控制系統，可根據工藝曲線要求自動控制水流量。采用水泵變頻控制，變常規的高低液位控制為恒液位控制，液位控制精度達到0.3%；研制出料自動切換裝置，實現出料無人值守。 ⑤ SiC冶煉爐在線自動測控裝置的研發 研制SiC冶煉爐在線自動測控裝置，可按冶煉工藝和爐溫自動進行恒功率綜合優化控制，爐溫控制精度達到2.5級。成果已在工廠正常運行3年。獲得4項發明專利授權，5項軟件著作權授權 雷蒙磨粉碎自動檢測方法及裝置 專利號：ZL200810020792.3 一種提高碳化硅微粉水溢流分級效率的精密控制方法 專利號：ZL200910035173.6 一種燃煤鍋爐能效監測方法 專利號：ZL201110091483.7 陣列式LED照明燈具的中心區域溫度動態控制方法 專利號：ZL201210356239.3 一種經濟型燃煤鍋爐能效監測系統及方法 專利號：ZL201110292517.9 一種低冗余度高可靠性船舶發電機組智能測速裝置 專利號：ZL201110058228.2一種手機可遙控的總線型區域供熱計量管理系統 專利號：ZL201010134495.9
東南大學
2021-04-13
獸用抗菌藥和違禁藥殘留高效檢測標準制定與產品創制
已有樣品/n獸用抗菌藥和違禁藥殘留高效檢測標準制定與產品創制。 成果簡介：動物性食品中的獸藥殘留危害消費者健康，檢測是避免殘留的有效措施。然而，多年來，我國獸藥殘留檢測技術的覆蓋面窄、科技含量不高、不配套、檢測效率低，不能滿足國家保障食品安全的戰略需求。在國家重點支撐、農業行業標準制修定等計劃支持下，歷時19年，本項目著力于畜禽和水產動物可食組織及產品的樣品前處理技術的系統化和標準化研究，抗原、抗體、工作菌種及培養基等快速檢測核心試劑及試劑盒的創制與開發，重要殘留標識物標準品的自主研制，取得以下創
華中農業大學
2021-01-12
多關節教學工業兩用型機器人及控制系統
項目概況 NGR01 型多關節教學工業兩用型機器人由五個自由度(腰、肩、肘、擺腕、旋腕)和一 個電動手指組成。每個關節均采用步進電動機(教學型)或交流伺服電動機(工業型)通過諧波 齒輪減速器和齒形帶驅動，整個機構采用鋁材加工而成。電氣控制系統采用三級計算機結構 的多 CPU 并行工作方式，既可以通過控制器上的薄膜按鍵現場手動示教獨立運行，也能通過 上位機虛擬現實仿真軟件運行于自動方式，還設計有智能型遙控器接口。該產品是江蘇省高 校自然科學研究基金項目成果，已經通過省級鑒定和驗收，現制造出樣機，擁有自主知識產 權(實用新型專利“ZL200620125163.3：五自由度多關節機器人智能遙控器”和軟件著作權 “2008SR03425：NGR01 型多關節工業機器人控制與虛擬仿真軟件”)。
南京工程學院
2021-04-13
內疏水混凝土用化學外加劑的產業化關鍵技術及應用
北京工業大學
2021-04-14
噴射混凝土用無堿液體速凝劑的制備關鍵技術及產業化應用
北京工業大學
2021-04-14
液壓彈簧式直接拉伸試驗用三爪卡盤限位巖石試樣固定裝置
液壓彈簧式直接拉伸試驗用三爪卡盤限位巖石試樣固定裝置，由下位夾具和上位夾具組成，下位夾具包括與試驗機底部加載座連接的下接頭、固定試樣的下端帽、連接下接頭與下端帽的下鏈條、第一螺旋彈簧、第一中心限位機構、第二中心限位機構和第一液壓機構，上位夾具包括與試驗機頂部加載座連接的上接頭、固定試樣的上端帽、連接上接頭與上端帽的上鏈條、第二螺旋彈簧、第三中心限位機構、第四中心限位機構和第二液壓機構；第一中心限位機構、第二中心限位機構、第三中心限位機構和第四中心限位機構均由三爪卡盤、支撐件和轉接板組成；第一液壓機構、第二液壓機構的結構相同，均包括圓環形活塞及與圓環形活塞組合的圓環形油缸。
四川大學
2016-10-08
系列車用渦輪增壓器測試試驗臺及關鍵技術（服務）
成果簡介：增壓器試驗在新產品的開發和產品質量的控制方面發揮著非常重要的作用。國際知名的增壓器生產企業都會根據自己的生產情況配有較完善的增壓器測試設備，先進的測試系統和現代化試驗臺的結合為甚至最小的發展步驟都提供了可靠的檢驗，保證了產品的高質量。對國內增壓器制造企業來說，對生產設備的重視程度要遠遠超過了對試驗測試的重視程度，這也使得國產增壓器在應用過程中增壓器本身的故障以及由增壓器故障誘發的發動機故障時常發生，嚴重影響了國內產品在國內外市場上的競爭能力。 項目來源：自行開發
北京理工大學
2021-04-14
鋰硫電池正極用粘結劑及其在鋰硫電池制備中的應用
本發明屬于電池粘結劑領域，提供了一種用于鋰硫電池正極的粘結劑。所述粘結劑包括為糊化淀粉，該粘結劑由50～95wt%的糊化淀粉與50～5wt%的添加劑組成，所述添加劑為羥甲基纖維素鈉或者聚乙烯醇中的至少一種。本發明還提供了一種所述粘結劑在鋰硫電池制備中的應用。
四川大學
2017-12-28