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用于
微
形貌測(cè)量的磁懸浮觸針式位移傳感
器
本發(fā)明為用于微形貌測(cè)量的磁懸浮觸針式位移傳感器。包括測(cè)量探頭、探頭支承座、讀數(shù)傳感器、信號(hào)處理控制裝置。其中觸針安裝在懸浮式探桿下端,探桿為磁體,探桿設(shè)置在探頭支承座內(nèi)并與探頭支承座間留有間隙,探頭支承座為電磁鐵。讀數(shù)傳感器與測(cè)量探頭對(duì)應(yīng)。設(shè)置有信號(hào)處理控制裝置分別與讀數(shù)傳感器及探頭支承座連接。本發(fā)明利用磁懸浮支承座和探桿間的磁力作用將探桿和觸針懸浮,徹底改變了傳統(tǒng)的機(jī)械固定接觸式探桿安裝方法,保證探桿和觸針的高順應(yīng)性,使探桿只能在垂直于工件表面方向作直線(xiàn)運(yùn)動(dòng),從本質(zhì)拋掉了傳統(tǒng)傳感器的非線(xiàn)性誤差,大大提高測(cè)量精度,擴(kuò)大了傳感器的測(cè)量范圍,適應(yīng)了精密加工技術(shù)的發(fā)展,更好地滿(mǎn)足工業(yè)測(cè)量需要。
四川大學(xué)
2016-10-08
微
流芯片及利用
微
流芯片制備聚合物
微
球技術(shù)
已有樣品/n該項(xiàng)目所開(kāi)發(fā)的儀器設(shè)備可以實(shí)現(xiàn)對(duì)FNRBCs 準(zhǔn)確、高效、快速、低廉的分離與富集,并進(jìn)行基因組層面的全面分析,為無(wú)創(chuàng)性產(chǎn)前診斷技術(shù)的發(fā)展及相關(guān)科學(xué)研究的深入提供有力的推動(dòng)和支撐平臺(tái)。項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)在該研究領(lǐng)域進(jìn)行了長(zhǎng)期的研究工作,積累了大量經(jīng)驗(yàn),并取得了一定成績(jī)。該成果,方法獨(dú)特,效果明顯并成功用于三體綜合癥檢測(cè)。
武漢大學(xué)
2021-01-12
硅
基未知頻率縫隙耦合式T型結(jié)直接式毫米波相位檢測(cè)
器
本發(fā)明的硅基未知頻率縫隙耦合式T型結(jié)直接式毫米波相位檢測(cè)器是由共面波導(dǎo)傳輸線(xiàn)、縫隙耦合結(jié)構(gòu)、移相器、單刀雙擲開(kāi)關(guān)、T型結(jié)功分器、T型結(jié)功合器以及直接式熱電式功率傳感器所構(gòu)成,整個(gè)結(jié)構(gòu)基于高阻Si襯底制作,一共有四個(gè)縫隙耦合結(jié)構(gòu),上方的兩個(gè)縫隙耦合結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)信號(hào)的頻率測(cè)量,下方的兩個(gè)縫隙耦合結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)信號(hào)的相位測(cè)量,在前后縫隙之間有一個(gè)移相器;T型結(jié)功分器和T型結(jié)功合器是由共面波導(dǎo)傳輸線(xiàn)、扇形缺陷結(jié)構(gòu)和空氣橋組成;直接式熱電式功率傳感器由共面波導(dǎo)傳輸線(xiàn)、兩個(gè)熱電偶和隔直電容所構(gòu)成,熱電偶是由金屬臂和半導(dǎo)體
東南大學(xué)
2021-04-14
基于
硅
基懸臂梁T型結(jié)間接加熱式毫米波信號(hào)檢測(cè)
器
本發(fā)明的基于硅基懸臂梁T型結(jié)間接加熱式毫米波信號(hào)檢測(cè)器,主要實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)包括由懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)、T型結(jié)、間接加熱式微波功率傳感器和開(kāi)關(guān)。懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)包括兩組懸臂梁,每組懸臂梁由兩個(gè)對(duì)稱(chēng)的懸臂梁構(gòu)成,兩個(gè)懸臂梁之間CPW傳輸線(xiàn)的電長(zhǎng)度在所測(cè)信號(hào)頻率范圍內(nèi)的中心頻率35GHz處為λ/4。功率通過(guò)第一間接加熱式微波功率傳感器進(jìn)行檢測(cè);頻率檢測(cè)通過(guò)利用間接加熱式微波功率傳感器測(cè)量?jī)陕吩谥行念l率處相位差為90度的耦合信號(hào)的合成功率實(shí)現(xiàn);相位檢測(cè)通過(guò)將兩路在中心頻率處相位差為90度的耦合信號(hào),分別同兩路等分后的參考
東南大學(xué)
2021-04-14
硅
基已知頻率縫隙耦合式T型結(jié)直接式毫米波相位檢測(cè)
器
本發(fā)明的硅基已知頻率縫隙耦合式T型結(jié)直接式毫米波相位檢測(cè)器是由共面波導(dǎo)傳輸線(xiàn)、縫隙耦合結(jié)構(gòu)、移相器、T型結(jié)功分器、T型結(jié)功合器以及直接式熱電式功率傳感器所構(gòu)成,整個(gè)結(jié)構(gòu)基于高阻Si襯底制作,一共有四個(gè)縫隙耦合結(jié)構(gòu),上方的兩個(gè)縫隙耦合結(jié)構(gòu)連接著兩個(gè)直接式熱電式功率傳感器,下方的兩個(gè)縫隙耦合結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)信號(hào)的相位測(cè)量,在前后縫隙之間設(shè)置有一個(gè)移相器;T型結(jié)功分器和T型結(jié)功合器是由共面波導(dǎo)傳輸線(xiàn)、扇形缺陷結(jié)構(gòu)和空氣橋所組成;直接式熱電式功率傳感器主要由共面波導(dǎo)傳輸線(xiàn)、兩個(gè)熱電偶和一個(gè)隔直電容所構(gòu)成,每個(gè)熱電偶
東南大學(xué)
2021-04-14
硅
基已知頻率縫隙耦合式T型結(jié)間接式毫米波相位檢測(cè)
器
本發(fā)明的硅基已知頻率縫隙耦合式T型結(jié)間接式毫米波相位檢測(cè)器是由共面波導(dǎo)、縫隙耦合結(jié)構(gòu)、移相器、T型結(jié)功分器、T型結(jié)功合器以及間接式熱電式功率傳感器所構(gòu)成,整個(gè)結(jié)構(gòu)基于高阻Si襯底制作,一共設(shè)置有四個(gè)縫隙耦合結(jié)構(gòu),上方的兩個(gè)縫隙耦合結(jié)構(gòu)連接著兩個(gè)間接式熱電式功率傳感器,下方的兩個(gè)縫隙耦合結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)信號(hào)的相位測(cè)量,在前后縫隙之間設(shè)置有一個(gè)移相器;T型結(jié)功分器和T型結(jié)功合器是由共面波導(dǎo)、扇形缺陷結(jié)構(gòu)和空氣橋所組成;間接式熱電式功率傳感器主要由共面波導(dǎo)、兩個(gè)終端電阻以及熱電堆所構(gòu)成,熱電堆是由兩種不同的半導(dǎo)體
東南大學(xué)
2021-04-14
硅
基微機(jī)械懸臂梁耦合間接加熱在線(xiàn)式毫米波相位檢測(cè)
器
本發(fā)明的硅基微機(jī)械懸臂梁耦合間接加熱在線(xiàn)式毫米波相位檢測(cè)器,實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)包括懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)、功率合成/分配器和間接加熱式微波功率傳感器。懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)中,兩個(gè)結(jié)構(gòu)相同的懸臂梁在CPW中央信號(hào)線(xiàn)上方,用于耦合部分待測(cè)信號(hào),通過(guò)錨區(qū)與功率合成器相連,耦合信號(hào)的功率相等,兩個(gè)懸臂梁之間CPW傳輸線(xiàn)的電長(zhǎng)度為λ/8。懸臂梁下方的CPW中央信號(hào)線(xiàn)上覆蓋了一層Si3N4介電層,用于防止電學(xué)短路。參考信號(hào)通過(guò)功率分配器分成兩路信號(hào),分別與兩路懸臂梁耦合的信號(hào)通過(guò)功率合成器合成,功率合成器的輸出端連接到間接加熱式微波功
東南大學(xué)
2021-04-14
硅
基微機(jī)械懸臂梁耦合直接加熱在線(xiàn)式毫米波相位檢測(cè)
器
本發(fā)明的硅基微機(jī)械懸臂梁耦合直接加熱在線(xiàn)式毫米波相位檢測(cè)器,實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)包括懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)、功率合成/分配器和直接加熱式微波功率傳感器。懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)左右對(duì)稱(chēng),兩個(gè)懸臂梁在CPW中央信號(hào)線(xiàn)上方,結(jié)構(gòu)相同,用于耦合部分待測(cè)信號(hào),通過(guò)錨區(qū)與功率合成器相連,兩個(gè)懸臂梁之間CPW傳輸線(xiàn)的電長(zhǎng)度為λ/8。懸臂梁下方的CPW中央信號(hào)線(xiàn)上覆蓋了一層Si3N4介電層,用于防止電學(xué)短路。參考信號(hào)通過(guò)功率分配器分成兩路信號(hào),分別與兩路懸臂梁耦合的信號(hào)通過(guò)功率合成器合成,功率合成器的輸出端連接到直接加熱式微波功率傳感器進(jìn)行功
東南大學(xué)
2021-04-14
硅
基未知頻率縫隙耦合式T型結(jié)間接式毫米波相位檢測(cè)
器
本發(fā)明的硅基未知頻率縫隙耦合式T型結(jié)間接式毫米波相位檢測(cè)器是由共面波導(dǎo)傳輸線(xiàn)傳輸線(xiàn)、縫隙耦合結(jié)構(gòu)、移相器、單刀雙擲開(kāi)關(guān)、T型結(jié)功分器、T型結(jié)功合器以及間接式熱電式功率傳感器所構(gòu)成,整個(gè)結(jié)構(gòu)基于高阻Si襯底制作,其上有四個(gè)縫隙耦合結(jié)構(gòu),上方的兩個(gè)縫隙耦合結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)信號(hào)的頻率測(cè)量,下方的兩個(gè)縫隙耦合結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)信號(hào)的相位測(cè)量,在前后縫隙之間有一個(gè)移相器;T型結(jié)功分器和T型結(jié)功合器是由共面波導(dǎo)傳輸線(xiàn)傳輸線(xiàn)、扇形缺陷結(jié)構(gòu)和空氣橋所組成;間接式熱電式功率傳感器由共面波導(dǎo)傳輸線(xiàn)傳輸線(xiàn)、兩個(gè)終端電阻以及熱電堆所構(gòu)成,熱
東南大學(xué)
2021-04-14
聚丙烯酸酯
微
球及其應(yīng)用
中國(guó)發(fā)明專(zhuān)利ZL2023104389499:采用高內(nèi)相乳液模板法制備20-100微米的聚丙烯酸酯實(shí)心或多孔微球,可應(yīng)用于吸附劑、藥物香精載體或粉末涂料;制備簡(jiǎn)便、綠色環(huán)保且產(chǎn)率較高,基本無(wú)排放。
廈門(mén)大學(xué)
2025-02-07
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