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?  成果簡介：電流變技術是利用某種特殊懸浮液體在受到外加電場作用時其流變性能改變的特性。這一特性在發動機及其它工作平臺的隔振控制方面有著明顯的工程應用前景，它能夠以振動的頻率和振幅適時改變隔振器的動剛度和阻尼力，傳統的橡膠隔振器不能滿足隔振方面的所有要求。主動液力隔振器比橡膠隔振器有較好的特性，特別是在低頻范圍內。其次它可以擴大隔振器的頻率工作范圍，通過選用合適的電流變液體，既可以滿足低頻下的隔振要求，也可達到高頻下隔振的目的。主動式發動機支座系統能夠在振動的低頻階段表現出剛度

金屬橡膠，是一種由細金屬絲經纏繞、拉伸、鋪放及模壓制成且具有橡膠般高彈性、大阻尼的新型減振材料，故取名為金屬橡膠。金屬橡膠產品為全金屬材料制成，具有極佳的環境適應性和可靠性，可在各種惡劣環境下工作，耐腐蝕，不發生老化，性能穩定，能為各種電子設備提供隔振、緩沖，保證各精密電子設備正常工作。金屬橡膠隔振器的性能經過國家權威部門的檢測：達到國家規定的振動量級和頻率范圍內，不僅具有良好的隔振緩沖特性，而且還具有極其優異的抗疲勞特性。經過多年應用，金屬橡膠隔振器產品已經形成系列化，可用于0.05kg~5000kg設備的隔振。

無諧振隔振器是基于干摩擦阻尼理論設計生產的高性能隔振裝置，其主要運用于在各種復雜、惡劣運行環境的軍用電子設備、礦山機械的隔振、緩沖。產品為全金屬材料制成，具有極佳的環境適應性和可靠性，可在各種惡劣環境下工作，耐腐蝕，不發生老化，性能穩定，能為各種電子設備提供隔振、緩沖，保證各精密電子設備正常工作。無諧振隔振器的性能經過國家權威部門的檢測：達到國家規定的振動量級和頻率范圍內，不僅具有不出現共振的隔振特性，而且還具有優異的緩沖特性。經過多年應用，無諧振隔振器產品已經形成系列化，可用于1kg~2000kg設備的隔振。

電流變技術是利用某種特殊懸浮液體在受到外加電場作用時其流變性能改變的特性。這一特性在發動機及其它工作平臺的隔振控制方面有著明顯的工程應用前景，它能夠以振動的頻率和振幅適時改變隔振器的動剛度和阻尼力，傳統的橡膠隔振器不能滿足隔振方面的所有要求。主動液力隔振器比橡膠隔振器有較好的特性，特別是在低頻范圍內。其次它可以擴大隔振器的頻率工作范圍，通過選用合適的電流變液體，既可以滿足低頻下的隔振要求，也可達到高頻下隔振的目的。主動式發動機支座系統能夠在振動的低頻階段表現出剛度更強而在高頻階段更軟的特性，主動式發動機隔振系統一直被認為是下一代發動機主要的隔振應用目標。應用電流變技術開發的發動機主動式隔振器將是最簡單、成本最低廉的隔振系統。目前電流變隔振器能達到的主要技術指標是:低頻階段(10Hz以下)其動剛度和阻尼力有明顯的改變，對于其在高頻階段的工作特性正在進一步研究中。

產品詳細介紹 探測器帶有一個白色的聚酸碳脂塑料的外殼，頂部為一個防風的進風口和一個降低氣流阻力的支架，后部則帶有不銹鋼滑動觸片，用于與探測器底座連接。探測器內部有一對匹配的熱敏電阻進行溫度傳感，同時內部的印刷電路板上還安裝有信號處理電路。當探測器安裝在探測器底座上時，由系統中的報警控制盤通過區域監視模塊提供電壓和電流給探測器，使探測器處于待命工作狀態。發生火災時，燃燒產生的熱空氣經探測器的進風口進入探測器內部后，其中熱敏電阻的對外輸出電信號發生變化，在達到預先設定的數值后會發出報警信號。。阿波羅APOLLO 55000-100PRC S60常規型感溫探測器。

產品詳細介紹 探測器帶有一個白色的聚酸碳脂塑料的外殼，頂部為一個防風的進煙口，后部則帶有不銹鋼滑動觸片，用于與探測器底座連接。探測器內部有一個印刷電路板，電路板上的一側安裝有一個反光迷宮腔室，其中有紅外發光二極管和光電二極管，電路板上的另一側安裝有信號處理的電路。當探測器安裝在探測器底座上時，由系統中的報警控制盤通過區域監視模塊提供電壓和電流給探測器，使探測器處于待命工作狀態。由于紅外發光二極管和光電二極管的安裝位置的關系，在正常情況下光電管是無法接收到發光二極管的光線。發生火災時，煙霧粒子經探測器的進煙口進入反光迷宮腔室后，它將來自發光二極管的光線分散到光電二極管，光電二極管產生的電信號開始增強，在達到預先設定的數值后會發出報警信號。。阿波羅APOLLO 55000-300PRC S60常規型光電感煙探測器。 

本實用新型公開了一種硅晶圓微盲孔金屬填充裝置，包括孔板和真空回流裝置；所述孔板置于硅晶圓的表面的孔板，孔板上加工有多個用于填充金屬小球的小孔，小孔與硅晶圓的微盲孔位置一一對應；所述真空回流裝置用于在真空環境下熔化金屬小球。本實用新型通過孔板小孔大小和厚度，金屬小球的大小來控制每個小孔內外金屬體積和位置，并通過抽真空來避免盲孔填充金屬時由于孔內氣室和金屬表面張力的作用而導致空洞缺陷。

成果簡介：電流變技術是利用某種特殊懸浮液體在受到外加電場作用時其流變性能改變的特性。這一特性在發動機及其它工作平臺的隔振控制方面有著明顯的工程應用前景，它能夠以振動的頻率和振幅適時改變隔振器的動剛度和阻尼力，傳統的橡膠隔振器不能滿足隔振方面的所有要求。主動液力隔振器比橡膠隔振器有較好的特性，特別是在低頻范圍內。其次它可以擴大隔振器的頻率工作范圍，通過選用合適的電流變液體，既可以滿足低頻下的隔振要求，也可達到高頻下隔振的目的。主動式發動機支座系統能夠在振動的低頻階段表現出剛度更強而在高頻階段更軟的特

隨著支配半導體技術數十年的摩爾定律日益接近其發展極限，多種功能器件集成被認為是超越摩爾定律延續集成電路發展進程的重要途徑之一，這就需要能夠滿足多種功能器件高密度集成的制造技術。多元兼容集成制造技術就是為此而開發的，該技術通過在更大范圍內優選結構/功能材料組合，開發異質集成制造工藝，大大拓展了功能微器件創新設計和制造的騰挪空間。經過多年探索，目前已形成了涵蓋金屬、聚合物、陶瓷、復合材料的MEMS異質異構制造技術體系，并在多種類型功能器件研發中發揮了關鍵作用，初步展現了其基礎性支撐作用，相關技術獲得2016年度上海市技術發明一等獎。 微系統集成發展趨勢 多元兼容集成制造技術  獲獎情況 上海市技術發明一等獎2016年團隊獲獎 國家技術發明二等獎2008年 上海市技術發明一等獎2007年 超薄超快高熱流密度微通道散熱器 上海交通大學團隊在長期研究經驗和技術積累基礎上，創造性地提出了不同高熱導率材料組合構造的復合結構微通道散熱器設計方案，并基于多元兼容集成制造技術完成了多種尺寸樣品研制，其中，熱源面積與常用功率芯片尺度相當的超薄散熱器冷卻能力達到800W/cm2以上，在保留傳統微通道散熱器良好系統兼容性和適用性的基礎上達到了相當高的散熱能力水平，為解決高功率芯片系統超高熱流密度散熱問題提供了一個深具可行性的解決方案。 高溫薄膜溫度傳感器研究  發動機燃燒室等極端惡劣環境下（高溫、強振動、強腐蝕等）的工作參數現場監測對傳感器技術是嚴峻挑戰，國內外研究廣泛。交大團隊基于特種材料微納集成制造技術的長期積累，在高溫絕緣薄膜材料、多層薄膜應力調控、曲面圖形化和高溫敏感介質等技術上取得了一定突破，成功開發了多種可與現場結構共型的高溫薄膜傳感器，具有體積小、環境擾動小、響應快、靈敏度高、可分布式安置等優點，該團隊已經掌握了溫度、應力/應變、熱流等多種高溫狀態參數測量技術，適用溫度在800-1300℃之間。 薄膜絕緣電阻隨溫度的變化及測試結構 高溫薄膜溫度傳感器制造及曲面圖形化技術 薄膜溫度傳感器在發動機不同部位測溫需求 無線溫度傳感器測溫系統 高性能轉接板 基于轉接板的多芯片封裝是2.5D高密度集成最具可行性的方案之一。但是傳統的硅轉接板性價比不高，阻礙了廣泛應用。上海交大團隊基于非硅微加工技術的長期積累，突破了硅轉接板絕緣層完整性和再分布層熱隔離的難題，成功研制了漏電流極低的低成本高性能硅轉接板。此外，還開發了復合材料非硅轉接板，TCV陶瓷轉接板，TGV玻璃轉接板等各種三維封裝基板，實驗室能夠針對不同類型器件三維高密度封裝的具體要求，定制開發不同功能的專用轉接板，為多功能、高密度、高功率、低成本封裝提供個性化解決方案。 TSV-3D 高密度封裝概念圖  金屬-聚合物-納米復合材料非硅基轉接板實物圖片