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浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術 一、項目分類 關鍵核心技術突破 二、技術分析 如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。

一種振動電機直驅式雙質體單筒振動磨機，屬于固體物料的超細粉磨設備。 包括有磨筒(1)、上質體 (2)、下質體(5)、振動電機(3)、主振彈簧(4)、減 振彈簧(6)、底板(7)；其中上述磨筒(1)固結于上質體 (2)之上；上述上質 體(2)與下質體(5)之間依靠主振彈簧(4)及上、下質體上的導柱相聯接； 上述下質體 (5)通過減振彈簧(6)支承在底板(7)上；上述振動電機倒裝在 上質體(2)的托板下。工作時，上、下質體以 不同的振幅和加速度振動，上質體 的振幅和加速度較大，可提高磨筒內介質對物料的沖擊破碎能力；下質體的振幅 和加速度較小，再通過隔振彈簧可大大減小傳給基礎的動載荷。 

本實用新型變剛度雙質體二級動擺混沌振動磨涉及一種振動磨，特別是一種具有變剛度、雙質體、二 級動擺的混沌振動磨。包括上質體、下質體、主振彈簧、隔振彈簧、底座等，其中上質體主要包括振動電 機、筒體、右聯接架、左聯接架和配重體，筒體主要包括進料口、端蓋、出料口和磨介。上質體與下質體 之間通過主振彈簧相聯接，主振彈簧內徑與上、下質體上的彈簧導柱外徑相配合；下質體通過隔振彈簧支 承在底座上；所述振動電機包括動擺組件，動擺組件在振動電機軸左右兩端呈對稱分布，所述動擺組件包 括定擺、平鍵、軸套、一級動擺、軸承一、振動電機軸、二級動擺軸、軸承二和二級動擺。

本實用新型變剛度雙質體振動電機式特大型振動磨涉及一種振動磨，特別是一種具有變剛度、雙質體、 振動電機式的一般振動磨或特大型振動磨；它包括上質體、下質體、主振彈簧、隔振彈簧和底板，其中上 質體包括筒體、進料口、端蓋、出料口、振動電機、右聯接架、磨介、左聯接架和配重體；筒體通過主振 彈簧可能動地支承在下質體上，在筒體的右側用右聯接架剛性固結有振動電機，驅動側的主振彈簧的軸線 位于筒體和振動電機的重力軸線之間；下質體通過隔振彈簧支承在底座上，在筒體的左側用左聯接架剛性 固結有與右側質量相平衡的配重體。

產品詳細介紹ST4-4L系列 無污染第三方檢測磨土機是混合、細磨、小樣制備、納米材料分散、新產品研制和小批量生產高新技術材料的必備裝置。該產品體積小、功能全、效率高、噪聲低。主要用于地質、土壤、環保、第三方檢測等部門的土壤分析前處理研磨。工作原理：無污染第三方檢測磨土機的必備裝置。該產品體積小、功能全、效率高、噪聲低。主要用于地質、土壤、環保、第三方檢測等部門的土壤分析前處理研磨。無污染第三方檢測磨土機是在同一轉盤上裝有四個研磨罐，當轉盤轉動時，研磨罐在繞轉盤軸公轉的同時又圍繞自身軸心自轉。罐中磨球在高速運動中相互碰撞，研磨和混合樣品。該產品能用干、濕兩種方法研磨和混合粒度不同、材料各異的產品，研磨產品最小粒度可至0.1微米（即1.0×10mm-4）。1．無污染第三方檢測磨土機 主機1臺，研磨罐4只。2. 傳動方式：采用最先進的進口(瑞士)傳動裝置（噪音小），自動精密配合，無需手工調節；且使用壽命可長達10年（如出現傳動裝置問題，10年內免費更換），真正做到一勞永逸。該產品的核心部件是內嵌的4根圓柱形橡膠條，該橡膠條具有記憶功能，不易變形。臂和座之間最大可以扳轉+/-32度，當傳動裝置松動變長時，臂能自動回彈，使得傳動裝置始終處在精密配合狀態。3．干磨或濕磨均可，一次可研磨兩個樣品或四個樣品，裝樣量為：研磨罐容積的三分之二。4．提供10種以上不同材質的研磨套件(研磨罐與研磨球)。5．壓力可以設置(通過旋鈕)，數字式定時。6．轉速：公 轉： 50-400轉/分鐘 自 轉： 100-800轉/分鐘7．研磨室設計密封防塵，帶觀察窗。8．最大進料粒度：土壤料≤10mm。9．最小出料粒度：最小可達0.1um(即1.0×10mm-4)，粒度可以控制。10．研磨罐材質有：硬質鋼、不銹鋼、碳化鎢、瑪瑙、燒結剛玉、氧化鋯、硬瓷、尼龍、聚氨酯、聚四氟乙烯、碳化硼研磨罐等，與介質接觸的材質均不能給介質帶來污染。11．最大連續工作時間(滿負荷)：90小時， 定時總時間為: 9999分鐘，交替運行定時時間為：1-999分鐘。12．控制方式：按鍵（LED顯示）或觸屏，變頻無級調速、程控控制，手動、自動定時正反轉，定時關機。13．無污染第三方檢測磨土機 電機轉速：0-1400rpm、功率0.75kw、電壓220V、50HZ。14．無污染第三方檢測磨土機 型號（每臺的總容量）：0.2L、0.4L、0.6L、1L、2L、4L、等。無污染第三方檢測磨土機（配套研磨罐材質有）:瑪瑙、不銹鋼、不銹鋼真空、水晶、陶瓷、氧化鋯、聚四氟乙烯、尼龍、聚胺脂、硬質合金等。每四只球磨罐為一套，每套研磨罐配備相應的磨球與墊片。

該項目應用領域：可替代現有各種管殼式換熱器方案，尤其對貴重材料應用的經濟性更好，如銅管干式蒸發器、鈦管閉式冷卻器等。

開發了一種新型微流控注射器“濾頭”，通過簡單將樣品注入濾頭即可實現微粒的“片上濃縮”