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產品詳細介紹 IPMP65-5L性能參數除非特殊說明，電源的性能參數都是在以下條件下進行測試。?負載為純電阻?電源輸出接口的負極與機殼相連?至少熱機30分鐘以上所有參數只是作為使用電源時候的參考值，并不作為電源性能的保證。型號 IPMP65-5L輸入 電壓 220 VAC±10﹪,50/60 Hz,1 Ф輸出 電壓 額定電壓 65 V 最大電壓 66.95V  變化范圍 0～65 V 分辨率 1 mV   編程準確度注釋1-4 ≦(0.05﹪ + 5digits)   電流 額定電流 5 A 最大電流 5.15 A   變化范圍 0～5 A 分辨率 0.1 mA   編程準確度注釋1-4 ≦(0.5﹪ + 5digits)  額定電壓特性 紋波（5Hz～1MHz,RMS) 1 mVrms  電源效應注釋1-3 0.005﹪+  1 mV  負載效應注釋1-3 0.005﹪+  1 mV  瞬態響應時間注釋5 50 μs 溫度系數 50 ppm/℃額定電流特性 紋波（5Hz～1MHz,RMS) 2 mArms  電源效應 1 mA  負載效應 2 mA  溫度系數 300 ppm/℃保護電路 內部過溫保護電路檢測溫度 95℃ 過壓保護（OVP） 6.5～71.5V  過流保護（OCP） 0.5～5.5A   OVP/OCP觸發脈沖寬度（標準值） 50ms輸入保險絲 10A輸出保險絲（安裝于電源內部） 8A 恒壓指示 CV，綠色LED燈指示恒流指示 CC，紅色LED燈指示工作環境溫度和濕度 0～40 ℃ / 10﹪～90﹪ RH儲藏溫度和濕度 -10～60 ℃ / 低于90﹪ RH冷卻系統 風扇強制制冷輸出極性 正極或者負極都可以接地絕緣電壓 ±500 V控制接口 RS485/RS232（二選一）外部存儲器接口 USB2.0 HOST(可選）讀出準確度注釋1-4 電壓：≦(0.05﹪ + 5digits)，環境25 ℃ ± 5 ℃電流：≦(0.5﹪ + 5digits)，環境25 ℃ ± 5 ℃【注釋1】由于設置值不同會有所不同。【注釋2】﹪表示額定輸出的百分比。【注釋3】使用遠端感應模式，測量點在電源面板的S端子【注釋4】digits 表示最小分辨率【注釋5】指當輸出電流變化范圍在5﹪到100﹪，輸出電壓恢復到額定值的±(0.05﹪ + 10 mV)的時間。多路程控電源，多路電源，程控電源，精密電鍍電源，多通道電源，多通道程控電源  ，程控直流電源

產品詳細介紹 IPMP65-3L性能參數除非特殊說明，電源的性能參數都是在以下條件下進行測試。?負載為純電阻?電源輸出接口的負極與機殼相連?至少熱機30分鐘以上所有參數只是作為使用電源時候的參考值，并不作為電源性能的保證。型號 IPMP65-3L輸入 電壓 220 VAC±10﹪,50/60 Hz,1 Ф輸出 電壓 額定電壓 65 V 最大電壓 66.95V  變化范圍 0～65 V 分辨率 1 mV   編程準確度注釋1-4 ≦(0.05﹪ + 5digits)   電流 額定電流 3 A 最大電流 3.09 A   變化范圍 0～3 A 分辨率 0.1 mA   編程準確度注釋1-4 ≦(0.5﹪ + 5digits)  額定電壓特性 紋波（5Hz～1MHz,RMS) 1 mVrms  電源效應注釋1-3 0.005﹪+  1 mV  負載效應注釋1-3 0.005﹪+  1 mV  瞬態響應時間注釋5 50 μs 溫度系數 50 ppm/℃額定電流特性 紋波（5Hz～1MHz,RMS) 2 mArms  電源效應 1 mA  負載效應 2 mA  溫度系數 300 ppm/℃保護電路 內部過溫保護電路檢測溫度 95℃ 過壓保護（OVP） 6.5～71.5V  過流保護（OCP） 0.3～3.3A   OVP/OCP觸發脈沖寬度（標準值） 50ms輸入保險絲 10A輸出保險絲（安裝于電源內部） 5A 恒壓指示 CV，綠色LED燈指示恒流指示 CC，紅色LED燈指示工作環境溫度和濕度 0～40 ℃ / 10﹪～90﹪ RH儲藏溫度和濕度 -10～60 ℃ / 低于90﹪ RH冷卻系統 風扇強制制冷輸出極性 正極或者負極都可以接地絕緣電壓 ±500 V控制接口 RS485/RS232（二選一）外部存儲器接口 USB2.0 HOST(可選）讀出準確度注釋1-4 電壓：≦(0.05﹪ + 5digits)，環境25 ℃ ± 5 ℃電流：≦(0.5﹪ + 5digits)，環境25 ℃ ± 5 ℃【注釋1】由于設置值不同會有所不同?！咀⑨?】﹪表示額定輸出的百分比。【注釋3】使用遠端感應模式，測量點在電源面板的S端子【注釋4】digits 表示最小分辨率【注釋5】指當輸出電流變化范圍在5﹪到100﹪，輸出電壓恢復到額定值的±(0.05﹪ + 10 mV)的時間。多路程控電源，多路電源，程控電源，精密電鍍電源，多通道電源，多通道程控電源  ，程控直流電源

產品詳細介紹 IPMP48-7L性能參數除非特殊說明，電源的性能參數都是在以下條件下進行測試。?負載為純電阻?電源輸出接口的負極與機殼相連?至少熱機30分鐘以上所有參數只是作為使用電源時候的參考值，并不作為電源性能的保證。型號 IPMP48-7L輸入 電壓 220 VAC±10﹪,50/60 Hz,1 Ф輸出 電壓 額定電壓 48 V 最大電壓 49.44V  變化范圍 0～48 V 分辨率 1 mV   編程準確度注釋1-4 ≦(0.05﹪ + 5digits)   電流 額定電流 7 A 最大電流 7.21 A   變化范圍 0～7 A 分辨率 1 mA   編程準確度注釋1-4 ≦(0.5﹪ + 5digits)  額定電壓特性 紋波（5Hz～1MHz,RMS) 0.5 mVrms  電源效應注釋1-3 0.005﹪+  1 mV  負載效應注釋1-3 0.005﹪+  2 mV  瞬態響應時間注釋5 50 μs 溫度系數 50 ppm/℃額定電流特性 紋波（5Hz～1MHz,RMS) 3 mArms  電源效應 1 mA  負載效應 2 mA  溫度系數 300 ppm/℃保護電路 內部過溫保護電路檢測溫度 95℃ 過壓保護（OVP） 4.8～52.8V  過流保護（OCP） 0.7～7.7A   OVP/OCP觸發脈沖寬度（標準值） 50ms輸入保險絲 10A輸出保險絲（安裝于電源內部） 10A 恒壓指示 CV，綠色LED燈指示恒流指示 CC，紅色LED燈指示工作環境溫度和濕度 0～40 ℃ / 10﹪～90﹪ RH儲藏溫度和濕度 -10～60 ℃ / 低于90﹪ RH冷卻系統 風扇強制制冷輸出極性 正極或者負極都可以接地絕緣電壓 ±500 V控制接口 RS485/RS232（二選一）外部存儲器接口 USB2.0 HOST(可選）讀出準確度注釋1-4 電壓：≦(0.05﹪ + 5digits)，環境25 ℃ ± 5 ℃電流：≦(0.5﹪ + 5digits)，環境25 ℃ ± 5 ℃【注釋1】由于設置值不同會有所不同。【注釋2】﹪表示額定輸出的百分比。【注釋3】使用遠端感應模式，測量點在電源面板的S端子【注釋4】digits 表示最小分辨率【注釋5】指當輸出電流變化范圍在5﹪到100﹪，輸出電壓恢復到額定值的±(0.05﹪ + 10 mV)的時間。多路程控電源，多路電源，程控電源，精密電鍍電源，多通道電源，精密電鍍電源  ，程控直流電源

產品詳細介紹 IPMP48-4L性能參數除非特殊說明，電源的性能參數都是在以下條件下進行測試。?負載為純電阻?電源輸出接口的負極與機殼相連?至少熱機30分鐘以上所有參數只是作為使用電源時候的參考值，并不作為電源性能的保證。型號 IPMP48-4L輸入 電壓 220 VAC±10﹪,50/60 Hz,1 Ф輸出 電壓 額定電壓 48 V 最大電壓 49.44V  變化范圍 0～48 V 分辨率 1 mV   編程準確度注釋1-4 ≦(0.05﹪ + 5digits)   電流 額定電流 4 A 最大電流 4.12 A   變化范圍 0～4 A 分辨率 0.1 mA   編程準確度注釋1-4 ≦(0.5﹪ + 5digits)  額定電壓特性 紋波（5Hz～1MHz,RMS) 0.5 mVrms  電源效應注釋1-3 0.005﹪+  1 mV  負載效應注釋1-3 0.005﹪+  2 mV  瞬態響應時間注釋5 50 μs 溫度系數 50 ppm/℃額定電流特性 紋波（5Hz～1MHz,RMS) 2 mArms  電源效應 1 mA  負載效應 2 mA  溫度系數 300 ppm/℃保護電路 內部過溫保護電路檢測溫度 95℃ 過壓保護（OVP） 4.8～52.8V  過流保護（OCP） 0.4～4.4A   OVP/OCP觸發脈沖寬度（標準值） 50ms輸入保險絲 10A輸出保險絲（安裝于電源內部） 6A 恒壓指示 CV，綠色LED燈指示恒流指示 CC，紅色LED燈指示工作環境溫度和濕度 0～40 ℃ / 10﹪～90﹪ RH儲藏溫度和濕度 -10～60 ℃ / 低于90﹪ RH冷卻系統 風扇強制制冷輸出極性 正極或者負極都可以接地絕緣電壓 ±500 V控制接口 RS485/RS232（二選一）外部存儲器接口 USB2.0 HOST(可選）讀出準確度注釋1-4 電壓：≦(0.05﹪ + 5digits)，環境25 ℃ ± 5 ℃電流：≦(0.5﹪ + 5digits)，環境25 ℃ ± 5 ℃【注釋1】由于設置值不同會有所不同。【注釋2】﹪表示額定輸出的百分比。【注釋3】使用遠端感應模式，測量點在電源面板的S端子【注釋4】digits 表示最小分辨率【注釋5】指當輸出電流變化范圍在5﹪到100﹪，輸出電壓恢復到額定值的±(0.05﹪ + 10 mV)的時間。多路程控電源，多路電源，程控電源，精密電鍍電源，多通道電源，多通道程控電源  ，程控直流電源

產品詳細介紹 IPMP36-10L性能參數除非特殊說明，電源的性能參數都是在以下條件下進行測試。?負載為純電阻?電源輸出接口的負極與機殼相連?至少熱機30分鐘以上所有參數只是作為使用電源時候的參考值，并不作為電源性能的保證。型號 IPMP36-10L輸入 電壓 220 VAC±10﹪,50/60 Hz,1 Ф輸出 電壓 額定電壓 36 V 最大電壓 37.08V  變化范圍 0～36 V 分辨率 1 mV   編程準確度注釋1-4 ≦(0.05﹪ + 5digits)   電流 額定電流 10 A 最大電流 10.3 A   變化范圍 0～10 A 分辨率 1 mA   編程準確度注釋1-4 ≦(0.5﹪ + 5digits)  額定電壓特性 紋波（5Hz～1MHz,RMS) 0.5 mVrms  電源效應注釋1-3 0.005﹪+  1 mV  負載效應注釋1-3 0.005﹪+  2 mV  瞬態響應時間注釋5 50 μs 溫度系數 50 ppm/℃額定電流特性 紋波（5Hz～1MHz,RMS) 3 mArms  電源效應 3 mA  負載效應 3 mA  溫度系數 300 ppm/℃保護電路 內部過溫保護電路檢測溫度 95℃ 過壓保護（OVP） 3.6～39.6V  過流保護（OCP） 1～11A   OVP/OCP觸發脈沖寬度（標準值） 50ms輸入保險絲 10A輸出保險絲（安裝于電源內部） 15A 恒壓指示 CV，綠色LED燈指示恒流指示 CC，紅色LED燈指示工作環境溫度和濕度 0～40 ℃ / 10﹪～90﹪ RH儲藏溫度和濕度 -10～60 ℃ / 低于90﹪ RH冷卻系統 風扇強制制冷輸出極性 正極或者負極都可以接地絕緣電壓 ±500 V控制接口 RS485/RS232（二選一）外部存儲器接口 USB2.0 HOST(可選）讀出準確度注釋1-4 電壓：≦(0.05﹪ + 5digits)，環境25 ℃ ± 5 ℃電流：≦(0.5﹪ + 5digits)，環境25 ℃ ± 5 ℃【注釋1】由于設置值不同會有所不同?！咀⑨?】﹪表示額定輸出的百分比?！咀⑨?】使用遠端感應模式，測量點在電源面板的S端子【注釋4】digits 表示最小分辨率【注釋5】指當輸出電流變化范圍在5﹪到100﹪，輸出電壓恢復到額定值的±(0.05﹪ + 10 mV)的時間。多路程控電源，多路電源，程控電源，精密電鍍電源，多通道電源，多通道程控電源  ，程控直流電源

產品詳細介紹IPMP16-20L性能參數除非特殊說明，電源的性能參數都是在以下條件下進行測試。?負載為純電阻?電源輸出接口的負極與機殼相連?至少熱機30分鐘以上所有參數只是作為使用電源時候的參考值，并不作為電源性能的保證。型號 IPMP16-20L輸入 電壓 220 VAC±10﹪,50/60 Hz,1 Ф輸出 電壓 額定電壓 16 V 最大電壓 16.48V  變化范圍 0～16 V 分辨率 1 mV   編程準確度注釋1-4 ≦(0.05﹪ + 5digits)   電流 額定電流 20 A 最大電流 20.6 A   變化范圍 0～20 A 分辨率 1 mA   編程準確度注釋1-4 ≦(0.5﹪ + 5digits)  額定電壓特性 紋波（5Hz～1MHz,RMS) 0.5 mVrms  電源效應注釋1-3 0.005﹪+  1 mV  負載效應注釋1-3 0.005﹪+  2 mV  瞬態響應時間注釋5 50 μs 溫度系數 50 ppm/℃額定電流特性 紋波（5Hz～1MHz,RMS) 3 mArms  電源效應 3 mA  負載效應 3 mA  溫度系數 300 ppm/℃保護電路 內部過溫保護電路檢測溫度 95℃ 過壓保護（OVP） 1.6～17.6V  過流保護（OCP） 2～22A   OVP/OCP觸發脈沖寬度（標準值） 50ms輸入保險絲 10A輸出保險絲（安裝于電源內部） 30A 恒壓指示 CV，綠色LED燈指示恒流指示 CC，紅色LED燈指示工作環境溫度和濕度 0～40 ℃ / 10﹪～90﹪ RH儲藏溫度和濕度 -10～60 ℃ / 低于90﹪ RH冷卻系統 風扇強制制冷輸出極性 正極或者負極都可以接地絕緣電壓 ±500 V控制接口 RS485/RS232（二選一）外部存儲器接口 USB2.0 HOST(可選）讀出準確度注釋1-4 電壓：≦(0.05﹪ + 5digits)，環境25 ℃ ± 5 ℃電流：≦(0.5﹪ + 5digits)，環境25 ℃ ± 5 ℃【注釋1】由于設置值不同會有所不同?！咀⑨?】﹪表示額定輸出的百分比。【注釋3】使用遠端感應模式，測量點在電源面板的S端子【注釋4】digits 表示最小分辨率【注釋5】指當輸出電流變化范圍在5﹪到100﹪，輸出電壓恢復到額定值的±(0.05﹪ + 10 mV)的時間。多路程控電源，多路電源，程控電源，精密電鍍電源，多通道電源，多通道程控電源  ，程控直流電源

技術成熟度：技術突破 1.原理：結合磁浮列車極端運行工況，充分考慮運行環境的強磁場，深入研究機-電-磁耦合機制，精確調節磁體懸浮姿態，以實現超導磁體在液氮溫區（-196℃）自穩定懸浮。 2.創新點： （1）研發國產化低功耗懸浮控制模塊，能耗較進口設備降低35%； （2）突破-196℃環境下多系統協同控制技術，填補國內工程化應用空白。 3.應用場景： （1）高速磁浮列車靜懸試驗臺 （2）精密儀器運輸平臺 （3）航空航天地面測試裝備 4.應用案例：前期開發的自由度控制系統，已被合作團隊應用且效果較好。

(1)道路交通安全規劃 針對城市交通帶來的安全問題，從問題的分析入手，在事故預防、事故處理、事故服務等多角度提出城市交通安全的規劃。技術流程如下圖所示。道路交通安全規劃一般包括交通安全調查與分析、交通安全現狀分析、交通安全發展趨 勢分析、道路交通安全設施系統規劃、交通安全管理規劃、交通安全保障規劃、交通安全規 劃的實施與滾動發展等。(2)道路交通安全審計清華大學承擔的道路交通安全審計項目經過一年的調研與研究分析，提出了相應的項目 成果。1)我國城市道路交通安全評估(審計)指南? 對城市道路交通安全評估的定義、目的、指南適用范圍、評估周期與時間、評估內 容要求進行規定與說明。? 提出了道路交通安全評估8大基本步驟，并對每個步驟需要評估的內容進行詳細的 分析與規定。? 對道路交通安全評估中的關鍵技術進行了研究。第一，提出了道路交通安全風險圖 的繪制方法與目的;第二，將道路交通安全評估等級劃分為 2 大類共 6 個等級。? 提出了道路交通安全審計表單。對城市現有道路從道路網絡與功能、交通工程設施、 交叉口渠化和信號配時、路段橫斷面構成、轉彎半徑、照明等道路工程狀況、道路使用者的 交通行為特性(尤其是行人、自行車利用者等)、道路兩側的土地利用與交通環境等進行道路 交通安全評估工作。安全評估通常采用評估單進行操作記錄和分析，分評估主表單和分表單。2)我國城市道路交通安全評估工作機制 對國家層面的領導工作機制、城市層面評估組織工作流程提出了相關的建議。 3)盤錦、錦州、遼陽三城市道路交通安全評估 項目目標在于論證評估路網的使用效益及應用潛力，發現盤錦市的交通安全隱患，對交通安全狀況的改善和安全管理提出建議及實施方案，從而減少盤錦市交通事故的發生數量，提高交通安全水平。 三城市交通安全審計將整體性和具體性、科學性和可實施性進行雙重結合，從宏觀和微觀、策略和措施兩個層面給出了改善交通安全狀況的建議和具體方案。 方案最終以文檔和圖集兩種形式展現。針對問題的方案內容包括道路基礎設施完善，公 交優先措施保障，標志標線、護欄、交通安全島等交通工程設施完善，智能交通管理系統建 設，交通管理措施強化，人行過街設施、人行道系統完善等多方面內容;方案的實施對象涉及三條道路的每條路段和每個路口。 該項目以基礎設施為切入點，綜合考慮了影響交通安全的人、車的行為因素，并以提高交通參與者交通安全意識和交通文明素質為制定方案的目標之一，切實達到了提高盤錦市交 通安全水平和市民素質的目的。

1 成果簡介（ 1）道路交通安全規劃 針對城市交通帶來的安全問題，從問題的分析入手，在事故預防、事故處理、事故服務等多角度提出城市交通安全的規劃。技術流程圖下圖所示。  道路交通安全規劃技術流程圖 道路交通安全規劃一般包括交通安全調查與分析、交通安全現狀分析、交通安全發展趨勢分析、道路交通安全設施系統規劃、交通安全管理規劃、交通安全保障規劃、交通安全規劃的實施與滾動發展等。 （ 2）道路交通安全審計 清華大學承擔的道路交通安全審計項目經過一年的調研與研究分析，提出了相應的項目成果。 1） 我國城市道路交通安全評估（審計）指南 A、對城市道路交通安全評估的定義、目的、指南適用范圍、評估周期與時間、評估內容要求進行規定與說明。 B、提出了道路交通安全評估 8 大基本步驟，并對每個步驟需要進行評估的內容進行詳細的分析與規定。 C、對道路交通安全評估中的關鍵技術進行了研究。第一，提出了道路交通安全風險圖的繪制方法與目的；第二，對道路交通安全評估等級劃分為 2 大類共 6 個等級。 D、 提出了道路交通安全審計表單。對城市現有道路從道路網絡與功能、交通工程設施、交叉口渠化和信號配時、路段橫斷面構成、轉彎半徑、照明等道路工程狀況、道路使用者的交通行為特性（尤其是行人、自行車利用者等）、道路兩側的土地利用與交通環境等進行道路交通安全評估工作。安全評估通常采用評估單進行操作記錄和分析，分評估主表單和分表單。 2） 我國城市道路交通安全評估工作機制 對國家層面的領導工作機制、城市層面評估組織工作流程提出了相關的建議。 3） 盤錦、錦州、遼陽三城市道路交通安全評估 項目目標在于論證評估路網的使用效益及應用潛力，發現盤錦市的交通安全隱患，對交通安全狀況的改善和安全管理提出建議及實施方案，從而減少盤錦市交通事故的發生數量，提高交通安全水平。 三城市交通安全審計將整體性和具體性、科學性和可實施性進行雙重結合，從宏觀和微觀、策略和措施兩個層面給出了改善交通安全狀況的建議和具體方案。 方案最終以文檔和圖集兩種形式展現。針對問題的方案內容包括道路基礎設施完善，公交優先措施保障，標志標線、護欄、交通安全島等交通工程設施完善，智能交通管理系統建設，交通管理措施強化，人行過街設施、人行道系統完善等多方面內容；方案的實施對象涉及三條道路的每條路段和每個路口。 該項目以基礎設施為切入點，綜合考慮了影響交通安全的人、車的行為因素，并以提高交通參與者交通安全意識和交通文明素質為制定方案的目標之一，切實達到了提高盤錦市交通安全水平和市民素質的目的。2 應用說明清華大學承擔過沈陽、濟寧等多個城市的道路交通安全規劃。 此外，我們在制定出我國第一部關于城市交通的《道路交通安全審計手冊》后，針對盤錦、錦州、遼陽三個城市為代表進行了詳細道路交通安全審計工作。 以盤錦市道路交通安全審計工作為例進行介紹： （ 1）規模 1） 首先從城市總體著手，明確城市和城市交通總體特點及存在問題，針對問題，在深層挖掘其原因的基礎上從交通基礎設施建設、交通管理設施建設、交通政策建設及交通安全教育建設等方面提出解決思路和總體對策。 2） 在解決思路和總體對策的指導下，在以專家式踏勘為手段對道路及其周邊環境進行全面了解的基礎上，針對盤錦市的交通走廊泰山路、雙興路、遼河路，總長約 30km 的三條南北主干路的交通安全問題作了詳細的交通安全檢查報告，并且，分別制定了具體的、可操作的交通安全改善方案。 （ 2）具體任務 1） 實地踏勘和現場調研。 2） 鑒別交通走廊（泰山路、遼河路和雙興路）。 3） 提出針對每條交通走廊的詳細的道路交通安全檢查報告（包括基礎設施、公交系統、交通工程設施、交通管理、人、車在道路上的行為等問題）。 4） 制定相應的解決交通安全問題的補救性行動計劃。 5） 編制詳細的實施計劃和檢測行動計劃。 6） 制定開展面向城市交警和其他相關決策者的培訓計劃。3 效益分析為各城市提高道路交通安全水平提供了良好措施和規劃方案，同時可以較大程度緩解各城市嚴峻的交通安全形勢。4 合作方式商談。

一種多路液體溫度調節裝置及其溫度控制方法，屬于液體溫度 調節裝置及其溫度控制方法，解決現有光刻機浸沒液溫度調節控制裝 置只具有一路輸出的溫度控制能力以及不能協同調節遠端、近端供水 溫度的問題。本發明的溫度調節裝置，包括純水供應部分、注液部分 和控制系統，純水供應部分放置于遠端的純水設備內，注液部分放置 于光刻機內部；純水供應部分和注液部分之間通過遠傳管路連接；控 制系統分別采集純水溫度傳感器、供水溫度傳感器、第一～第三溫度 傳感器的溫度值；并對第 1～第 3 加熱器的加熱電壓進行控制，同時 對冷卻水