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半導體設備超潔凈流控系統及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
適用于具有功能梯度及拉脹屬性的超材料的拓撲優化方法
本發明屬于超材料設計相關技術領域，其公開了一種適用于具 有功能梯度及拉脹屬性的超材料的拓撲優化方法，其包括以下步驟: (1)采用加權法建立每層的、同時考慮微觀結構拉脹屬性及宏觀結構剛 度屬性的多目標優化模型;(2)控制所述超材料結構整體在一個方向上 的拉脹屬性及剛度屬性呈梯度形式分布;(3)計算每層設計域上的微觀 位移、宏觀位移、以及每層微結構的等效彈性屬性;(4)基于計算獲得 的敏度，采用優化準則法更新設計變量，進而判斷所述目標函數是否 收斂。上述拓撲優化方法采用加權法建立同時考慮微觀結
華中科技大學
2021-04-14
一種可重構的絲杠副、導軌副加速壽命電液伺服試驗臺
一種可重構的絲杠副、導軌副加速壽命電液伺服試驗臺，其組成是：機座上的兩個導軌安裝臺之間的T型臺的兩絲杠軸承座上安裝與電機相連的絲杠；導軌安裝臺上的導軌與導軌滑塊配合，導軌上的導軌滑塊墊板、一個導軌安裝臺上的光柵尺讀數頭和絲杠的螺母上的絲母座均與受力滑臺的底部相連；受力滑臺的一側通過齒條與磁粉制動器輸出軸端部的齒輪嚙合。受力滑臺的另一側面與橫向加載機構的施力輪相對，上方則與垂向加載機構的施力輪相對。該試驗裝置能實現多種型號的絲杠副、導軌副的三向動態加載的加速壽命試驗，能實時采集評估絲杠副、導軌副剩余壽命及退化機理所需的試驗數據，為絲杠副、導軌副的設計與維護提供更加可靠的試驗依據。
西南交通大學
2016-07-04
美國FISHER燃氣調壓器627W-5液相減壓閥627W
產品詳細介紹深圳市貝斯特燃氣設備現貨優惠供應美國費希爾FISHER627-496燃氣調壓閥/減壓閥/調壓器，該產品具有如下優點◆FISHER燃氣調壓器627包括以下型號:627-576/627-476/627-464/627W/627W-5/627W- 30適用于天然氣傳輸系統和各種工業、商業應用領域 壓力設定簡單、調壓精確、關閉靈敏 一體化的EZR-OSX過壓失壓切斷裝置，確保下游管線安全◆特殊設計的金屬閥口結構和流體路徑可減少閥座磨損，降低噪音◆內置式過濾裝置 精確的調壓特性◆帶有燃氣調壓閥/減壓閥/調壓器行程指示器 高性能降噪聲設計 多種監控方式可供選擇 進口壓力范圍：最大72.4 bar出口壓力范圍：0.015-48 bar 最大流量：400000 Nm3/h 精度：±1% 可在線維修，價格性能比極高 連接方式：1"-12" ANSI 125BFF/250BFF/150RF/150RF/300RF/600RF 法蘭,BWE 材料：鑄鐵 或 WCB 鋼制閥體 溫度：-29°～121℃◆選項：變換指揮器，可改裝成安全放散閥；可選配一體化過濾裝置，防止雜質損害內部配件；◆配備Kixcel662型燃氣調壓閥/減壓閥/調壓器電動執行器，實現遠程調壓 可用于天然氣、液化石油氣、空氣等多種氣體。※ 深圳市貝斯特燃氣設備有限公司 聯系人：陳小姐※ 辦公地址：深圳市龍華新區觀瀾街道大和路怡力科技園B棟四樓※ 電話：0755-29049559 13537704290※ 傳真：0755-28127295 服務QQ：664064711※ 網址：http://www.ccbestgas.com※ 網址：http://www.fishergas.com※ 網址：http://www.cigas.cn
深圳市貝斯特科技有限公司
2021-08-23
中美科學家合作在依托新型導電聚合物研發柔性可拉伸高密度微陣列電極方面取得重要進展
柔性可拉伸的電極在可穿戴設備中記錄肌肉電活動、腦機接口獲取腦或神經界面信號等方面均具有廣泛的應用。
科技部生物中心
2022-04-12
“互聯網+”大學生創新創業大賽間接帶動就業超400萬人
中國國際“互聯網+”大學生創新創業大賽參賽項目累計落地創辦企業超過7萬個，創造就業崗位超過60萬個，間接帶動就業超過400萬人。
新華社
2020-11-11
一種單晶石榴石厚膜的間歇式液相外延生長方法
專利內容是本發明針對背景技術存在的缺陷，提出了一種單晶石榴石厚膜的間歇式液相外延生長方法，緩解了襯底與薄膜之間的應力產生，得到的單晶石榴石厚膜可作為磁光或微波厚膜應用，該方法制得的磁光厚膜的厚度可達100µm以上。
電子科技大學
2021-02-01
一種迭代空間模糊聚類的大腦磁共振圖像超體素生成方法
本發明公開了一種迭代空間模糊聚類的大腦磁共振圖像超體素生成方法，包括以下步驟：首先，由于人類大腦具有相同的拓撲結構，從基于群體的大腦MRI模板獲得一組種子模板；其次，為了排除部分容積效應的影響，提出了一種迭代空間模糊聚類算法，將體素分配給每個種子生成超體素。本發明能較好地應用于大腦磁共振圖像，生成有效的大腦磁共振圖像超體素。
東南大學
2021-04-11
具有抑菌活性的香芹酚固體脂質納米粒分散液及其制備方法和應用
其他成果/n一種具有抑菌活性的香芹酚固體脂質納米粒分散液及其制備方法和應用，以香芹酚固體脂質納米粒分散液的總重量計，該香芹酚固體脂質納米粒包括：香芹酚0.05?0.5wt％、單硬脂酸甘油酯0.5?1wt％、1,2?丙二醇酯0.5?1wt％、吐溫?80 1?2wt％、乙醇5?6wt％、余量為水。本發明的香芹酚固體脂質納米粒分散液的有效成分來源于植物提取物，綠色環保，對人體無害，固體脂質納米粒有效改善了香芹酚的水分散性，增加了香芹酚在水中的溶解性，提高了香芹酚的穩定性。
武漢輕工大學
2021-04-11
一種用于油氣田中的可降解水基清潔壓裂液稠化劑
本發明公開了一種用于油氣田中的可降解水基清潔壓裂液稠化劑。本發明將具有酯基和磺基的甜菜堿型兩性表面活性劑稠化劑式(I)用于可降解水基清潔壓裂液中，得到的可降解水基清潔壓裂液可自動破膠，且在剪切一小時后壓裂液的粘度仍保持在50mPa·s以上。所述的可降解水基清潔壓裂液的主要化學成分為具有酯基和磺基的甜菜堿型兩性表面活性劑稠化劑和交聯劑，稠化劑的質量百分比為1.5％?4.0％；交聯劑的質量百分比為0.5％?1.0％。本發明的可降解水基清潔壓裂液的生物降解性好，對環境影響小、耐溫耐剪切性能好、破膠完全無殘渣、配制簡單。
華中科技大學
2021-04-10