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新型氣敏材料及MEMS氣敏器件的研究
2021-01-12 00:00:00
云上高博會
http://www.eczace.xyz
關(guān)鍵詞：
MEMS氣敏器件
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項(xiàng)目成果/簡介:
復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院教授盧紅亮團(tuán)隊(duì)首次結(jié)合硬模板法、原子層沉積技術(shù)和水熱工藝，在低功耗MEMS器件上原位合成了單層有序SnO2納米碗支化ZnO納米線的多級異質(zhì)復(fù)合納米材料，并以此作為氣體傳感器，對濃度低至1 ppm的硫化氫實(shí)
項(xiàng)目階段:
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